在生產(chǎn)多晶硅的生產(chǎn)技術(shù)中，改良西門子法為主要的生產(chǎn)方法。在生產(chǎn)多晶硅棒的過(guò)程中，將三氯氫硅(SiHCl3)和氫氣(H2)按一定比例混合后通往還原爐鐘罩內(nèi)，還原爐內(nèi)設(shè)有有用于提供附著體的硅芯。在反應(yīng)器溫度達(dá)1000～1200℃時(shí)，三氯氫硅被氫氣還原后，生成硅并不斷附著在硅芯上，*終得到硅棒。多晶硅還原爐是這一生產(chǎn)過(guò)程中至關(guān)重要的設(shè)備，而鐘罩作為還原爐的重要組成部分，其功能和維護(hù)同樣不可忽視。
一、多晶硅還原爐鐘罩的作用
1、功能: 鐘罩是還原爐中的關(guān)鍵部件，它負(fù)責(zé)收集還原過(guò)程中產(chǎn)生的氣體，防止這些氣體直接進(jìn)入爐體或其他部位，保證爐內(nèi)環(huán)境的穩(wěn)定。
2、結(jié)構(gòu): 鐘罩通常由耐高溫和耐腐蝕材料制成，能夠承受還原過(guò)程中產(chǎn)生的高溫和化學(xué)反應(yīng)產(chǎn)生的腐蝕性氣體。
二、清洗的必要性
1、防止堵塞: 長(zhǎng)時(shí)間使用后，鐘罩內(nèi)部可能積累沉積物和污染物，這些沉積物可能導(dǎo)致氣體流動(dòng)不暢，甚至堵塞氣體通道。
2、提高效率: 定期清洗鐘罩可以確保氣體的順暢流動(dòng)，維持爐內(nèi)的溫度和化學(xué)反應(yīng)穩(wěn)定，從而提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。
3、減少故障: 清洗可以減少設(shè)備故障的風(fēng)險(xiǎn)，延長(zhǎng)鐘罩的使用壽命。
三、清洗步驟
1、停機(jī)準(zhǔn)備: 在進(jìn)行清洗之前，必須確保還原爐已經(jīng)完全停機(jī)并冷卻，以避免高溫和潛在的危險(xiǎn)。
2、拆卸鐘罩: 根據(jù)設(shè)備的設(shè)計(jì)，拆卸鐘罩可能需要使用專用工具。注意拆卸過(guò)程中保護(hù)好周圍的設(shè)備和管道。
3、初步檢查: 檢查鐘罩的狀態(tài)，記錄任何明顯的損壞或磨損。必要時(shí)，進(jìn)行修理或更換部件。
四、清洗過(guò)程:
德高潔自主研發(fā)并投入使用了一套多晶硅還原爐鐘罩自動(dòng)清洗烘干系統(tǒng)，由高壓熱水清洗系統(tǒng)、熱風(fēng)凈化烘干系統(tǒng)、清洗工作臺(tái)及管道、電氣控制系統(tǒng)等組成，能夠自動(dòng)化完成還原爐鐘罩內(nèi)部的自動(dòng)清洗及烘干，提高還原爐鐘罩清洗效率及質(zhì)量。
1、系統(tǒng)清洗流程：還原爐鐘罩到位→預(yù)清洗→清洗劑(堿液)清洗→漂洗→高純水沖洗→凈化熱空氣干燥→常溫干燥→鐘罩吊走，一套系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)多種型號(hào)還原爐鐘罩的清洗烘干。一次吊裝在一個(gè)工作臺(tái)上完成全部清洗、烘干過(guò)程，可實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程對(duì)樓下設(shè)備的控制和主要參數(shù)監(jiān)控。
2、系統(tǒng)清洗原理：工作原理以高壓水動(dòng)力裝置產(chǎn)生的熱水射流為動(dòng)力，以水力自驅(qū)動(dòng)三維的洗罐器為執(zhí)行噴頭，在一定的工作時(shí)間形成360°的網(wǎng)狀噴射表面，完成鐘罩內(nèi)部表面的水力掃射，用氫氧化鈉溶液等為主要清洗液，用脫鹽水預(yù)洗、漂洗，高純水沖洗，完成清洗過(guò)程。清洗過(guò)程中三維清洗噴頭在選裝過(guò)程中可自動(dòng)升降，因此可以全面的對(duì)還原爐鐘罩內(nèi)部進(jìn)行清洗，確保還原爐鐘罩內(nèi)部的清洗質(zhì)量。
德高潔是一家成立于1994年的清潔環(huán)保設(shè)備供應(yīng)商，公司擁有20余人研發(fā)團(tuán)隊(duì)，旗下部署工藝組、技術(shù)組、質(zhì)檢組，實(shí)時(shí)管控產(chǎn)品性能、質(zhì)量，并通過(guò)ISO9001質(zhì)量體系認(rèn)證，長(zhǎng)期服務(wù)于國(guó)企、軍工、外資、上市公司等企業(yè)，德高潔自2007年起便開(kāi)始研發(fā)高效率、高環(huán)保、高質(zhì)量的自動(dòng)化清洗系統(tǒng)，期間自主研發(fā)了針對(duì)罐車、反應(yīng)釜、多晶硅還原爐鐘罩、噸桶、罐式集裝箱、蒸發(fā)罐、發(fā)酵罐等容器自動(dòng)清洗系統(tǒng)，可根據(jù)企業(yè)實(shí)際生產(chǎn)工況量身定制自動(dòng)化清洗解決方案，如您有需求，歡迎電話聯(lián)系，我們將竭誠(chéng)為您服務(wù)
